インジウム・スズ化合物（ITO）の元素分析

　インジウム・スズ酸化物（ITO）は、薄型ディスプレイ・タッチパネル・太陽電池等の透明電極原料として、近年広く使われるようになった材料ですが、一方で、ヒトに対して「おそらく発がん性がある物質」であることが分かってきました。
　厚生労働省は、インジウム・スズ酸化物等の取扱い作業による健康障害防止に関する技術指針（平成22年12月22日付け基安発1222第2号の別添1）で、ITO作業場における作業環境管理や健康管理等の方法を定めています。
　ここでは、市販のITO試薬を用い、ICP発光分光分析法とICP質量分析法とでそれぞれインジウム（In）定量分析を行った事例を報告します。

■ICP発光分光分析法によるIn定量

　市販のITO試薬（酸化インジウム(III)：酸化スズ(IV)＝9：1混合物の2-プロパノール懸濁液）を希釈したものを、上記指針記載の方法で前処理し、ICP発光分光分析装置に導入しました。
　 なお、Inの発光スペクトルは定量に適さない波形をしたものが多く（図1）、今回は測定波長を325.609nmとしました。

図1　ICP発光分光分析法によるITOのIn発光スペクトルの例

■ICP質量分析法によるIn定量

　上記で調製した溶液をさらに希釈してICP質量分析装置に導入しました。四重極型ICP質量分析装置でのIn定量では、Inピーク位置（m/z＝113および115）にカドミウム（Cd）やスズ（Sn）のピークが重なり（表1および図2）、高値となる可能性があるため、EPA Method 200.8等の干渉補正式を用いました。

表1　Cd, In, Snの天然同位体比

図2　ICP質量分析法によるITOのMSスペクトルの例（m/z＝106～120）

■In定量結果

　上記の測定結果と定量下限を表2に示します。
　ICP発光分光分析法とICP質量分析法では、数1000倍の感度差が認められました。

表2　ITO試薬中In定量結果

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