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電子基板に付着した異物の分析
 異物分析においては形態観察が重要です。目視観察はもちろんですが、顕微鏡などを用いて拡大観察することにより、詳細な形状及び表面の状態についての情報を得ることができます。
 今回は、電子基板上で観察された微小異物について、デジタルマイクロスコープによる観察とFTIRで定性分析を行った事例を紹介します。
■デジタルマイクロスコープによる形態観察
 電子基板に微小な影が見られました。しかし、肉眼では異物が付着しているのか、基板が腐食・変色しているのか、削れているのか判断がつきません。
 そこで、デジタルマイクロスコープで観察したところ、長さ 150μm×幅70μm×高さ20μm程度の有機物と思われる付着物が観察されました。

電子基板   デジタルマイクロスコープで観察
拡大  
付着物
■FTIRによる定性分析
 付着物を採取し、顕微ATR法による測定の結果、ポリアミド系の化合物(ナイロンなど)と思われます。

異物のIRスペクトル
図1.異物のIRスペクトル

 基板上の異物は、顕微鏡観察から情報を得て、有機物の定性分析に最も適した装置を用いて解析することが出来ました。
 異物分析では、サンプルの情報や目視観察、顕微鏡観察などから最適な分析装置を選択し、迅速かつ的確に解析しています。