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EPMAによる浸炭の評価
 電子線マイクロアナライザ(EPMA)は、従来から微小部高感度の表面分析装置として知られており、 現在も様々な分野で種々の目的に使用されています。
 鉄鋼材料の超軽元素(C)と微小領域の元素マッピング分析を紹介します。

■試料
    浸炭処理された歯車
■炭素の評価
    浸炭処理は鉄鋼製品の表面層に、オーステナイト中に固溶している状態の炭素を富化させる熱化学処理で、 浸炭品の使用目的により浸炭層の深さが変わります。
  炭素(CKα)のマッピング(右 拡大)
  炭素(CKα)のマッピング(右 拡大)

■表面付近の微小領域分析
    最表層の表面に粒界酸化(Si,Cr,Mn)に起因する異常層(約10μm)が確認できます。 この異常層は、焼き入れ向上元素の低下のため焼き入れ性が低下した軟化組織で、疲労破壊の起点になりやすい特徴があります。
 
  OKα SiKα CrKα MnKα