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蛍光X線による状態分析
■概要
 固体表面にある元素がどのような状態で存在するかを調べるには、X線光電子分光分析や電子線マイクロアナリシスによる状態分析が利用されますが、前者については極表面の情報しか 得られず、後者については微小部の情報しか得られません。広範囲の平均的な情報を得るには蛍光X線分析が適しています。
■測定事例
 測定事例として、Al(金属,窒化物,酸化物)およびCu(金属,亜酸化銅,酸化銅)の状態分析結果を示します。
 波長分散型蛍光X線分析装置によりAl(金属,窒化物,酸化物)およびCu(金属,亜酸化銅,酸化銅)の状態分析を行いました。

Al状態分析結果
図 Al状態分析結果
 
 AlはKβやサテライトピークの波長シフトから状態分析が可能です。

Cu状態分析結果
図 Cu状態分析結果
 
 CuはLβ/Lαの強度比の変化から状態分析が可能です。