鉱物（マンガン団塊）のマッピング測定

2012年11月19日更新

概要

　エネルギー分散型微小部蛍光X線分析装置μEDXによる元素マッピングでは、元素を指定し、多元素を同時にマッピング測定することが可能です。X線強度の分布、または膜厚、組成の分布表示を行うことができます。
　ここでは鉱物（マンガン団塊）のマッピング測定を行った事例を紹介します。

　沖縄県読谷村沖の海底から採取されたマンガン団塊

　試料を切断、包埋、研磨の後、主成分のFe（図1）とMn（図2）のマッピング測定を行いました。
　また、図3にFeとMnの重ね合わせ表示を示します。
　年輪構造はFeとMnによる組成の違いによるものと推察されます。

図1　FeKβ像

図2　MnKα像

図3　重ね合わせ表示

測定ステップ；50[μm/step]
測定点数；288×248
計数時間；0.1[sec/step]
データサイズ；14.4×12.4[mm]